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RTP多功能快速退火炉\快速升温管式炉

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电阻炉名称:RTP多功能快速退火炉\快速升温管式炉
  • 电阻炉类型:实验电炉
  • 电阻炉品牌:SGM
  • 电阻炉规格:
  • 电阻炉温度:1200℃
  • 实验电炉价格:议价起
  • 咨询热线:400-600-3293

RTP多功能快速退火炉

zhtz668.com Sigma 1200℃ RapidThermalProcessingFurnace

快速热处理退火炉简称RTP(RapidThermalProcessingFurnace),快速热处理退火炉在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温!

此款设备采用了西格马SGM自主研发的智能AIO(AllInOne)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。西格马SGMAIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。

功能举例:

样品加热到1000℃后,炉膛自动移开加热区,冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温,样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热,如此往复,往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。

应用领域

快速热退火(RTA);离子注入后退火

石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

zhtz668.com 快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);

硅化(Silicidation);

扩散(Diffusion);

zhtz668.com 离子注入后退火(ImplantAnnealing);

电极合金化(ContactAlloying);

zhtz668.com 晶向化和坚化(CrystallizationandDensification);

 

快速退火炉主要特点

zhtz668.com 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

zhtz668.com 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

zhtz668.com 直接测量样品表面温度,测温更精准;

炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;

样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格;

RTP多功能快速退火炉

电炉名称

RTP多功能快速退火炉快速升温管式炉

zhtz668.com 产品型号

zhtz668.com SGM RTP1100-M

zhtz668.com 额定温度

zhtz668.com 1100℃

温场均匀性

±2℃

zhtz668.com 炉膛升温速率

zhtz668.com ≥100℃/S

zhtz668.com *快降温速率

zhtz668.com ≥100℃/S

控温方式

炉膛与样品要分别控温,两个测温点

zhtz668.com 炉膛移动方式

zhtz668.com 根据用户样品设定温度自动左右移动,往复次数可调节

zhtz668.com 操控系统

zhtz668.com 智能AIO操作系统

zhtz668.com 操作界面

7英寸触摸屏

zhtz668.com 加热方式

zhtz668.com 短波红外线加热

加热腔体结构

双层石英管

外管直径

100mm

zhtz668.com 内管直径

80mm

气体保护方式

zhtz668.com 外管进气,内管出气

压力保护

zhtz668.com 管内自动恒压(0.8~1.2个大气压任意可调)

zhtz668.com 样品冷却

zhtz668.com 加热后炉膛自动移开,冷气打开直吹样品,降到设定温度自动关闭冷却气体。

冷却气体调节

浮子流量计(100~1000ml/min)

超温保护

温度出现过高时切断主回路

zhtz668.com 式样有效空间

90*100mm

真空系统

zhtz668.com 8L/S双级联真空系统

整机真空度

zhtz668.com 0.5Pa

真空启动方式

zhtz668.com 根据程序设置自动启停

zhtz668.com 抽气端口尺寸

KF16

供气口尺寸

zhtz668.com 1/4英寸双卡套

zhtz668.com 法兰冷却方式

水冷(短时间无需水冷)

真空显示

数字真空压力表

上位机操控

基于安卓系统APP

zhtz668.com 数据导出方式

zhtz668.com APP导出Excel表格

额定功率

zhtz668.com 12kw

外形尺寸

zhtz668.com 950*500*560mm

重量

zhtz668.com 50kg

配件

zhtz668.com 管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。

 

 

报价

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